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功率补偿计算工具
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数据同步与管理

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机台选择

* 选择需要用于计算功率补偿值的机台编号

机台历史数据

数据选择列表

选择 晶体编号 开炉日期 ∆功率 ∆长速 ∆升华速率

拟合曲线设置与结果

拟合方程：--
拟合度 R²：--
选择拟合组数：0 组

拟合曲线图表

下一炉功率计算

g/h

* 默认目标值仅供参考，请根据实际情况修改

g/h
上一炉功率： -- kW
功率补偿值： -- kW
推荐设定功率： -- kW